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    • 由于旋涂機(jī)應(yīng)用機(jī)(MIKASA)的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機(jī)而無(wú)刷,因此在潔凈室中的污染性非常出色,并且通過(guò)減少電機(jī)的發(fā)熱,在連續(xù)使用過(guò)程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
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