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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：MIKASA旋轉(zhuǎn)涂膜儀MS-B150 刷涂機實驗儀器

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠商：MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
詳情介紹：

產(chǎn)品規(guī)格

*大電路板尺寸 φ6英寸晶圓或100×100mm基板
轉(zhuǎn)速（rpm） 20～7,000
旋轉(zhuǎn)精度 ±1rpm（負載時）
電機 交流伺服電機
蓋 丙烯酸
旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑 φ290mm
步驟模式數(shù) 100 步× 10 模式
時間設置 999.9sec
**聯(lián)鎖 真空標準蓋
選項
滴落設備 選項
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC100～240V　5A
外形尺寸（mm） 352W×303H×432D
重量 16kg

* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

支持選項


<定制類型> >支持<的型號
自動滴落裝置（空氣驅(qū)動） 1 臂 ○
2 臂 ○
自動滴落裝置（支架類型）   ○
邊緣沖洗   ○
反向沖洗   ○
排氣管   ○
廢液排放   ○
蓋子限位開關   ○
特氟龍涂層加工   ○
添加電機廢熱風扇   ○
緊急停止開關   ○
大功率電機  

對準曝光機
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉(zhuǎn)涂布機
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）
顯影刻蝕裝置
AD-1200
AD-3000
ED-1200
ED-3000


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