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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：MIKASA旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)MS-B100

    • 產(chǎn)品型號(hào)：MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)MS-B100
    • 產(chǎn)品廠商：MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    由于旋涂機(jī)應(yīng)用機(jī)（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機(jī)而無(wú)刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過(guò)減少電機(jī)的發(fā)熱，在連續(xù)使用過(guò)程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
    詳情介紹：

    產(chǎn)品規(guī)格

    *大電路板尺寸 φ4英寸晶圓或75×75mm基板
    速度（轉(zhuǎn)/分） 20~8，000
    旋轉(zhuǎn)精度 ±1轉(zhuǎn)/分（負(fù)載時(shí)）
    發(fā)動(dòng)機(jī) 交流伺服電機(jī)
    蓋 丙烯酸
    旋轉(zhuǎn)室直徑 φ220毫米
    步進(jìn)模式數(shù) 100 步× 10 種模式
    時(shí)間設(shè)置 999.9秒
    **聯(lián)鎖 真空標(biāo)準(zhǔn)
    蓋可選
    滴水裝置 不可連接
    使用的真空壓力 -0.08~-0.1兆帕
    權(quán)力 交流100~240V 5A
    外部尺寸（毫米） 259W×246H×330D
    重量 10公斤

    * 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

    支持的選項(xiàng)

    <定制類型> <兼容型號(hào)>
    ?自動(dòng)滴水裝置（氣動(dòng)型） 1 臂  
    2 臂  
    ?自動(dòng)滴水裝置（支架式）    
    ?漱邊    
    ?背部沖洗    
    ?排氣管   ○
    ?廢液排放   ○
    ?鄰苯二甲酰亞胺開關(guān)   ○
    ?特氟龍涂層   ○
    ?增加電機(jī)余熱風(fēng)扇   ○
    ?急停開關(guān)   ○
    ?大功率電機(jī)    


    薄膜厚度分布數(shù)據(jù)






    使用的型號(hào) MS-B100
    薄膜厚度測(cè)量裝置 菲爾計(jì)量 F50
    抵抗 OFPR-800LB （東京大鹿）
    電路板尺寸 φ4英寸硅片
    目標(biāo)膜厚度 1微米
    薄膜厚度分布 ±0.8%
    選型支持 技術(shù)服務(wù) 售后安裝調(diào)試維修

    蘇州代理MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)MS-B100

    南京代理MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)MS-B100

    常州代理MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)MS-B100

    上海代理MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)MS-B100

    武漢、長(zhǎng)沙、合肥、杭州、貴陽(yáng)、蕪湖





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