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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：MDCOM 株式會(huì)社UV清洗裝置MEUT-3-500塔瑪薩崎電子

    • 產(chǎn)品型號(hào)：
    • 產(chǎn)品廠商：MDCOM株式會(huì)社
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    MDCOM 株式會(huì)社UV清洗裝置MEUT-3-500塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布機(jī)、噴涂預(yù)處理 抗殘?jiān)?、有機(jī)物灰化
    詳情介紹：


    MDCOM 株式會(huì)社UV清洗裝置MEUT-3-500塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布機(jī)、噴涂預(yù)處理 抗殘?jiān)⒂袡C(jī)物灰化

    VUV清洗效果 清洗效果達(dá)到****的潔凈沉程度。PET薄膜從照射前的75.6度大幅降低到14.7度；原片玻璃從照射前的46.1度大幅降低到5度。一塵不染，潔凈如新。

    • 三大步驟

      除去有機(jī)物，增加表面的活性化、親水化；工件的粘著性和緊密性大幅度提高；UV清洗是不會(huì)破壞表面以及不會(huì)形成腐蝕孔的無(wú)損傷清洗方式。

      1

      切斷

      切斷有機(jī)物分子：172nm光子能量切斷有機(jī)物分子的結(jié)合(表面改質(zhì)?硬化)

      CmHnOK →Cm‘Hn ‘ Ok’

      2

      吸收與分解

      被氧吸收和分解：172nm被氧吸收，生成活性氧和臭氧，臭氧再分解生成活性氧 O2+hν→O (1D)O3+hν → O2+O (1D)

      3

      結(jié)合

      氧化分解為親水基：被切斷了化學(xué)結(jié)合的原子和活性氧結(jié)合，氧化分解、揮發(fā)后，生成親水基 CO2, H2O, OH-



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    參考規(guī)格

    蘋(píng)果 XE（氙氣）準(zhǔn)分子燈*1
    波長(zhǎng) 172納米 *1
    安裝的燈具數(shù)量 1*2起的定制設(shè)計(jì)
    有源發(fā)射長(zhǎng)度 150毫米~2500毫米
    光。。。。。。。。。。。。 標(biāo)準(zhǔn) 70毫瓦/平方英寸以上 *4
    光。。。。。。。。。。。。 高照度 120毫瓦/平方英寸以上 *4
    光。。。。。。。。。。。。 內(nèi)管水冷高照度 170毫瓦/平方英寸以上 *4
    照度均勻性 ± 10% 以內(nèi)
    陣容
    梅特 標(biāo)準(zhǔn)照度（70mW/cm2），水冷系統(tǒng)（電源和燈座）
    梅烏塔 標(biāo)準(zhǔn)照度 （70mW/cm2），風(fēng)冷
    默斯 高照度（120mW/cm2），水冷系統(tǒng)（電源和燈座）
    默特 大面積體輻照裝置（帶石英窗）
    梅斯-WC 內(nèi)管水冷高照度（170mW/cm2）水冷系統(tǒng)（電源和燈座，內(nèi)管電極）
    *5
    ■ 注
    *1 波長(zhǎng)選項(xiàng)：222nm
    *2 燈管數(shù)量、有效長(zhǎng)度、照射設(shè)備尺寸：定制*3 支持以 10mm 燈管有效長(zhǎng)度為增量進(jìn)行定制
    。 對(duì)于有效長(zhǎng)度為1700mm或以上，兩個(gè)燈以交錯(cuò)排列的方式排列
    *2 點(diǎn)亮后立即測(cè)量大氣管表面（通過(guò)照度計(jì)C4/H9536-9535測(cè)量）*172 內(nèi)管冷卻需要純水（每盞燈5L/min）






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