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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：OTSUKA大塚橢圓光譜儀 FE-5000/5000S

    • 產(chǎn)品型號(hào)：
    • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司OTSUKA大塚 Zeta電位，粒徑，分子量測(cè)量系統(tǒng) ELSZneo OTSUKA大塚橢圓光譜儀 FE-5000/5000S
    詳情介紹：

    特征
    • 可在紫外可見(jiàn)光（300~800nm）波長(zhǎng)范圍內(nèi)進(jìn)行橢圓參數(shù)測(cè)量。
    • 能夠?qū){米量級(jí)的多層薄膜進(jìn)行膜厚分析
    • 通過(guò) 400 個(gè)或更多通道的多通道光譜快速測(cè)量橢圓光譜
    • 用于薄膜詳細(xì)分析的可變反射角測(cè)量
    • 通過(guò)創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)和添加配方注冊(cè)功能來(lái)提高可操作性

     

    測(cè)量項(xiàng)目
    • 橢圓參數(shù) （tanψ， cosΔ） 測(cè)量
    • 光學(xué)常數(shù)（n：折射率，k：消光系數(shù)）分析
    • 膜厚分析

     

    測(cè)量對(duì)象
    • 半導(dǎo)體晶片
      柵極氧化薄膜、氮化物薄膜
      SiO      2，Si x Oy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3罪xOy，多晶硅，硒化鋅，BPSG，TiN
      光刻膠光學(xué)常數(shù)（波長(zhǎng)色散）
    • 化合物半導(dǎo)體
      鋁      x加語(yǔ)（1-x）作為多層，非晶硅
    • FPD
      取向膜
    • 各種新材料
      DLC（類(lèi)金剛石碳）、超導(dǎo)薄膜、磁頭薄膜
    • 光學(xué)薄膜
      TiO      2，SiO2，防反射膜
    • 在 G 線 （436nm）、H 線 （405nm） 和 I 線 （365nm）
      等波長(zhǎng)下進(jìn)行光刻 N，K 評(píng)估

     



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