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  • 產品名稱：AMAYA天谷制作所太陽能電池批量生產用AMAX1000S

  • 產品型號：
  • 產品廠商：AMAYA天谷制作所
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簡單介紹：
156mm 方形/小時 1500 張吞吐量 ? 通過采用 SiC 托盤解決重金屬污染問題， 以及通過改進托盤支架進行背面旋轉措施 氣相沉積設備
詳情介紹：
特點

超大規(guī)模生產設備可
運輸 156mmx156mm 方形基板和 125mm x 125mm 方形基板，以滿足太陽能電池的生產需求。

為了實現(xiàn)大規(guī)模生產，我們開發(fā)了專用分配頭，并開發(fā)了雙臂輸送機構，
以實現(xiàn)超高速輸送。 此外，還增加了新的燈加熱機制，以獲得
超高速和晶圓溫度均勻性。

我們開發(fā)了特殊的晶圓支架，可有效地加熱到太陽能電池的薄晶圓上。

卸載機部分采用多級伯努伊夾頭，將晶圓和托盤分開，并
具有冷卻功能。

性能
薄膜厚度均勻性 ≦±10%
支持的晶圓尺寸 156mm 方形，126mm 方形
氣體種類 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
沉積溫度 ～430℃
生產力 1500 張/小時
主要規(guī)格

設備尺寸 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H)
加熱機構 電阻加熱和燈加熱
卸載 加載： 夾緊， 卸載： 伯努伊恰克
分散頭
（氣體噴嘴） 		A63 長頭（*多可添加 3 個標準頭和 5 個頭）
蘇州代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產AMAX1000S

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