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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：國(guó)內(nèi)銷售AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

    • 產(chǎn)品型號(hào)：
    • 產(chǎn)品廠商：AMAYA天谷制作所
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    ● 低溫 （150~300°C） 處理 ● 形成 高品質(zhì)的SiO2膜 低應(yīng)力 、 無等離子體損傷 、 小顆粒 ? 降低 導(dǎo)入和維護(hù)成本 小占地面積 、 無需 真空 · 等離子體處理 ● 價(jià)格低廉 氣相沉積設(shè)備
    詳情介紹：
    特點(diǎn)

    4.5 代玻璃基板沉積設(shè)備，支持剛性和柔性設(shè)備，如 FPD。

    搭載了2臺(tái)成膜有效寬度760mm的氣頭，采用吸附式加熱臺(tái)，
    實(shí)現(xiàn)了溫度控制性±3%以內(nèi)。

    4.5 代玻璃基板可在 250°C 下以 25 片/小時(shí)或更高的吞吐量沉積 100nm SiO2 膜，
    確保薄膜厚度均勻性在 10% 以內(nèi)。

    性能
    薄膜厚度均勻性 ±10%
    支持的晶圓尺寸 4.5 代
    氣體種類 SiH4, O3, PH3, B2H6
    沉積溫度 150～300℃
    主要規(guī)格

    設(shè)備尺寸 1300mm(W) x 7350mm(D) x 2000mm(H)
    氣頭 搭載2個(gè)成膜有效寬度760mm氣頭
    蘇州代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

    常州代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

    昆山代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

    武漢代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

    南京代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置


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