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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
● 8英寸/小時100張高通量
●采用SiC托盤，可應(yīng)對重金屬污染，
實現(xiàn)長期穩(wěn)定工藝
●提高維護性
氣相沉積設(shè)備
詳情介紹：
特點
通過改進輸送機制實現(xiàn)高吞吐量。
AMAX 型分散
頭中的 SiH，經(jīng)過優(yōu)化，可在低溫常壓下更有效地進行熱化學(xué)反應(yīng)4, PH3, B2H6和 O2分散后混合和表面反應(yīng)的后混合方法，
提供優(yōu)異的薄膜厚度均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。
SiC 托盤的采用使重金屬污染不難發(fā)生。 此外，由于熱量，工藝性能
穩(wěn)定，老化較少。
標(biāo)準(zhǔn)配備托盤自動更換功能，可縮短操作員的**性和維護時間。
此外，通過采用自動提升頭底座的機制，可以輕松進行
清潔。
性能
| 薄膜厚度均勻性 | ≦±3.0% | |||||||||||||||||
| 支持的晶圓尺寸 | （5 英寸）、6 英寸和 8 英寸 | |||||||||||||||||
| 氣體種類 | SiH4, O2, PH3, B2H6, N2 | |||||||||||||||||
| 沉積溫度 | 350～430℃ | |||||||||||||||||
| 生產(chǎn)力 | ~100張/小時 | |||||||||||||||||
主要規(guī)格
| 設(shè)備尺寸 | 1460mm(W) x 3830mm(D) x 2250mm(H) | |||||||||||||||||
| 加熱機構(gòu) | 電阻加熱 | |||||||||||||||||
| 卸載 | 機器人CtoC輸送 | |||||||||||||||||
|
分散頭 （氣體噴嘴） |
AMAX 頭（標(biāo)準(zhǔn) 3 頭） | |||||||||||||||||
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