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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:國內(nèi)長期供應(yīng)MIKASA旋轉(zhuǎn)刷涂機MS-B100

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品廠商:MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
旋轉(zhuǎn)涂布機涂布機.com(Mikasa)的產(chǎn)品使用交流伺服電機,因此無刷,因此在潔凈室中污染良好,通過降低電機的發(fā)熱,在連續(xù)使用時,由于溫度升高,薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
詳情介紹:

產(chǎn)品規(guī)格

*大電路板尺寸 φ4英寸晶圓或75×75mm基板
轉(zhuǎn)速(rpm) 20~8,000
旋轉(zhuǎn)精度 ±1rpm(負載時)
電機 交流伺服電機
丙烯酸
旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑 φ220mm
步驟模式數(shù) 100 步× 10 模式
時間設(shè)置 999.9sec
**聯(lián)鎖 真空標準蓋
選項
滴落設(shè)備 不可安裝
使用真空壓力 -0.08~-0.1MPa
電源 AC100~240V 5A
外形尺寸(mm) 259W×246H×330D
重量 10kg

* 規(guī)格如有更改,恕不另行通知。

支持選項

<定制類型> >支持<的型號
自動滴落裝置(空氣驅(qū)動) 1 臂  
2 臂  
自動滴落裝置(支架類型)    
邊緣沖洗    
反向沖洗    
排氣管  
廢液排放  
蓋子限位開關(guān)  
特氟龍涂層加工  
添加電機廢熱風扇  
緊急停止開關(guān)  
大功率電機    

膜厚分布數(shù)據(jù)

膜厚分布數(shù)據(jù)

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使用的型號 MS-B100
薄膜厚度測量設(shè)備 菲梅特里克斯F50
電阻 OFPR-800LB(東京應(yīng)化社制)
電路板尺寸 φ4英寸硅晶片
目標厚度 1μm
薄膜厚度分布 ±0.8%
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