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產品詳情

  • 產品名稱：日本MIKASA旋轉涂布機 - SpinCoater -MS-B100 系列

  • 產品型號：
  • 產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
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簡單介紹：
日本MIKASA旋轉涂布機 - SpinCoater -MS-B100 系列 ■ 特點 ■ MIKASA**的旋轉控制系統(tǒng)不但可以達到5，000rpm以上的高速旋轉，且旋轉數精度全實現了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設定旋轉數（0~5，000rpm）和到達旋轉數的時間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設備（MS-A150/MS-A200）
詳情介紹：

日本MIKASA旋轉涂布機 - SpinCoater -MS-B100 系列


膜厚測量裝置

FILMETRICS制 F50

光刻劑

OFPR-800LB（東京奧卡制造）

基板尺寸

6 inch硅晶圓

目標膜厚

1微米

膜厚分布

±0.6%


功能

■ 采用AC伺服電動機
● 無刷式，不會造成無塵室汚染。
● 減少電動機發(fā)熱，也減少因連續(xù)使用時的溫度上升造成對膜厚再現性的影響。
● 電力消費低，減低環(huán)境的負擔。
■ 擴張程序功能
● *多有100階段程序、可記憶10種模式，更容易使用。
■ 所有機型皆標準配備數字式真空計
■ 方形基板等可設定停止時位置，超方便
■ **裝置機構（真空壓及蓋子）
● 由于薄膜或晶圓容易破裂， 而降低吸附壓力時，可以變更**裝置機構（真空）的稼動壓力。

 

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刷涂機、刮涂機、噴涂機



聯系人：李先生 13402684488（微信同號）


對準曝光機
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉涂布機
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）

顯影刻蝕裝置



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