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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：塔瑪薩崎Otsuka大塚膜厚儀

    • 產(chǎn)品型號：MCPD 系列嵌入式薄膜厚度頭
    • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
    • 產(chǎn)品價格：0
    • 折扣價格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡單介紹：
    我們的 MCPD 系列采用柔性光纖，可集成到從原位到內(nèi)聯(lián)的各種位置和應(yīng)用。 由于測量原理采用光譜干涉系統(tǒng)，因此在實(shí)現(xiàn)高測量可重復(fù)性的同時，還支持多層厚度測量。 采用專有算法，可實(shí)現(xiàn)高速實(shí)時監(jiān)控。
    詳情介紹：
    特點(diǎn)
    • 膜厚測定范圍65nm~92μm（SiO2轉(zhuǎn)換）
    • *短曝光時間1ms~ ※根據(jù)規(guī)格
    • 靈活的光纖光學(xué)系統(tǒng)，易于集成到半導(dǎo)體工藝裝置中
    • 從頂部進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
    • *適合在拋光過程中檢測薄膜厚度端點(diǎn)

     

    基本配置

     

    MCPD 嵌入式基本配置

    設(shè)備嵌入式圖像

    MCPD 嵌入式圖像

    測量示例

    CMP 流程中實(shí)時監(jiān)控的原位端點(diǎn)檢測

    對象：布線工序中CMP研磨對象的各種薄膜



    規(guī)格

    MCPD-9800 規(guī)格
    類型表達(dá)式 MCPD-9800
    2285C 3095C 3683C 311C 916C
    測量波長范圍（nm） 220～850 300～950 360～830 360～1100 900～1600
    薄膜厚度范圍* 65nm～35μm 65nm～50μm 65nm～45μm 65nm～49μm 180nm～92μm
    薄膜厚度/反射/透射/延遲 〇
    顏色測量 〇 ×
    掃描時間 5ms～20s 1ms～10s
    點(diǎn)直徑 φ1.2mm
    纖維長度 1m~ 長度需要咨詢

    ※膜厚值n=1.5換算。 取決于規(guī)格

     

    MCPD-6800 規(guī)格
    類型表達(dá)式 MCPD-6800
    2285C 3095C 3683C 3610C
    測量波長范圍（nm） 220～850 300～950 360～830 360～1000
    薄膜厚度范圍* 65nm～35μm 65nm～50μm 65nm～45μm 65nm～49μm
    薄膜厚度/反射/透射/延遲/顏色測量 〇
    掃描時間 16ms～65s
    點(diǎn)直徑 φ1.2mm
    纖維長度 1m~ 長度需要咨詢

    ※膜厚值n=1.5換算。 取決于規(guī)格


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