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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：日本USHIO牛尾分體式投影曝光設(shè)備UX-5/ UX-7

    • 產(chǎn)品型號：
    • 產(chǎn)品廠商：USHIO牛尾
    • 產(chǎn)品價格：0
    • 折扣價格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡單介紹：
    日本USHIO牛尾分體式投影曝光設(shè)備UX-5 系列 塔瑪薩崎（蘇州）電子有限公司
    詳情介紹：
    開創(chuàng)TTL非曝光波長/對準(zhǔn)方式
    由于Ushio的磚利技術(shù)“TTL非曝光法波長對準(zhǔn)”，觀察掩模標(biāo)記時，基板上的對準(zhǔn)標(biāo)記沒有曝光。此外，由于可以直接觀察工件標(biāo)記，因此不會因掩膜而降低對比度，并且可以進(jìn)行清晰標(biāo)記的高精度對準(zhǔn)。
    支持各種對齊標(biāo)記
    由于注冊圖案是“圖案匹配兼容”，因此可以與各種布線圖案對齊，而無需專用對齊標(biāo)記。
    高分辨率
    配備 Ushio 的投影鏡頭“UPL 系列”以實(shí)現(xiàn)高分辨率。支持線和空間=5μm的設(shè)計規(guī)則的全 面量產(chǎn)。
    深い焦點(diǎn)深度
    由于焦深較深（± 50 至 100 μm），因此即使因基板的臺階、翹曲和膨脹而導(dǎo)致散焦，也可以獲得與剛剛聚焦相當(dāng)?shù)膱D案輪廓。它在暴露厚的干膜和阻焊劑時特別有效。
    表面階段的高速步進(jìn)和重復(fù)
    通過使用精密空氣軸承消除摩擦并通過使用表面電機(jī)結(jié)構(gòu)降低運(yùn)動部件的重量和剛度，實(shí)現(xiàn)了高速步進(jìn)和重復(fù)操作。此外，表面平臺通過激光干涉儀進(jìn)行反饋控制，實(shí)現(xiàn)了高速運(yùn)行和高定位精度。
    面罩無損
    由于掩模和工件是非接觸式投影曝光方法，因此不會因抗蝕劑的粘附而損壞掩模。除了防止布線圖案缺陷外，掩模還可以半長久性使用，從而降低運(yùn)行成本。此外，無需清洗掩膜版，與緊密接觸式曝光設(shè)備相比，預(yù)計設(shè)備利用率會有所提高。
    保持高堆疊精度以應(yīng)對板收縮和翹曲
    “自動縮放功能”可根據(jù)板子的收縮和翹曲自動將投影放大倍率縮放至 0.1%，對其進(jìn)行校正并大大減少錯位。

    型號列表

    FC-BGA
    FC-CSP
    Interposer
    2.1D
    2.5D
    封裝
    半導(dǎo)體后處理
    RDL
    鈍化
    TSV
    TSV底孔
    印刷電路板等
    UX-7 系列陣容
    型式 UX7-Square70
    曝光區(qū) □70毫米
    板尺寸 ～□530毫米
    面具 6英寸
    解析力 2μm L/S
    露光波長 我線

    ■ 分辨能力：可分辨高達(dá)2 μm L/S

    抗蝕劑厚度   5微米
    露光量  150mJ/cm 2

    ■ 曝光面積：70 x 70 mm


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