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    HORIBA堀場(chǎng)FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具

    日期：2024-09-20 08:39
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    摘要：HORIBA堀場(chǎng)FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具

    HORIBA堀場(chǎng)FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具

    HORIBA堀場(chǎng)FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具

    Auto SE - 自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具
    一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀
    Auto SE是一種新型薄膜測(cè)量工具。僅需簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動(dòng)完成樣品測(cè)量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報(bào)告，包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。
    Auto SE全自動(dòng)化設(shè)計(jì)、一鍵式操作，功能齊全。配備自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)進(jìn)行成像分析，自動(dòng)切換微光斑，多種附件可選，以滿足不同的應(yīng)用需求。
    Auto SE借助完整的操作向?qū)?，自?dòng)檢測(cè)并診斷問題，對(duì)故障進(jìn)行處理，儀器維護(hù)簡(jiǎn)單
    Auto SE是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

    HORIBA堀場(chǎng)FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具
    全自動(dòng)流程，薄膜分析更容易
    高性能系統(tǒng)
    光斑可視化，微光斑可至25x60 μm
    功能齊全和靈活
    智能診斷


    HORIBA堀場(chǎng)FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具
    光譜范圍：440-1000nm
    光斑尺寸：7個(gè)尺寸微光斑全自動(dòng)切換500x500 μm; 250x500 μm; 250x250 μm; 70x250 μm; 100x100 μm; 50x60 μm; 25x60 μm
    探測(cè)系統(tǒng)：CCD，分辨率2nm
    樣品臺(tái)：真空吸盤，Z軸行程40mm
    光斑可視系統(tǒng)：CCD攝像機(jī)-視野1.33x1 mm-分辨率10μm
    量角器：固定角70°，也可選擇66°或61.5°
    多種附件可選
    測(cè)試時(shí)間：<2s，常規(guī)為5s
    準(zhǔn)確性：NIST 100nm d ± 4?, n(632.8nm) ± 0.002
    重復(fù)性：NIST 15nm ± 0.2 ?

    橢圓偏振光譜儀表征LED薄膜器件特性
    發(fā)光二極管（LED）具有耗電量少、壽命長(zhǎng)、色彩豐富、耐震動(dòng)、易控等特點(diǎn)。1990年代以來，半導(dǎo)體照明技術(shù)不斷突破，應(yīng)用領(lǐng)域日益擴(kuò)展。LED的電光轉(zhuǎn)化效率取決于LED薄膜的結(jié)構(gòu)和整體材料性能。橢圓偏振光譜可以準(zhǔn)確測(cè)定LED器件的厚度和光學(xué)常數(shù)。用于研究和工業(yè)應(yīng)用。厚度和折射率的準(zhǔn)確控制對(duì)弈器件性能的優(yōu)化和工業(yè)質(zhì)量的控制至關(guān)重要。

               HORIBA堀場(chǎng)FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具

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