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日本HORIBA堀場/ 自動化薄膜測量工具/一鍵式全自動快速橢偏儀/Auto SE
日期：2024-09-20 13:40
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摘要：日本HORIBA堀場生產(chǎn)和銷售汽車排放測量系統(tǒng)、環(huán)境測量儀器、種類齊全的科學(xué)分析儀、體外診斷分析儀和半導(dǎo)體行業(yè)使用的測量設(shè)備等。HORIBA還生產(chǎn)和銷售外圍測量與分析設(shè)備。此外，公司還可為實驗室等機構(gòu)提供用于研發(fā)、生產(chǎn)和其他應(yīng)用的測量與分析設(shè)備
日本HORIBA堀場橢圓偏振光譜儀i_Product_2065323049.html?_v=1690560008
薄膜表征的有效技術(shù)
橢圓偏振光譜是一種表面敏感、非破壞性、非侵入性的光學(xué)技術(shù)，廣泛應(yīng)用于薄層和表面特征。它基于線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合獲得厚度以及光學(xué)常數(shù)等。根據(jù)薄膜材料的不同，可測量的厚度從幾個?到幾十微米。橢圓偏振光譜是一種很好的多層膜測量技術(shù)。
橢圓偏振光譜儀可以表征薄膜的一系列特性，如膜厚、光學(xué)特性(n,k)、光學(xué)帶隙、界面和粗糙度厚度，薄膜組成，膜層均一性，等等。
橢圓偏振光譜適合分析的材料包括半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、有機物和金屬。也可用于研究固-液或液-液界面。
HORIBA橢圓偏振光譜儀采用新型高頻偏振調(diào)制技術(shù)，測試過程中無任何機械旋轉(zhuǎn)。與傳統(tǒng)橢偏儀相比，更快的測試速度、更寬的測量范圍以及更高的表征精度。
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