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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：江蘇代理OTSUKA大塚電子晶圓測厚系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號： GS-300
  • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司江蘇代理OTSUKA大塚電子晶圓測厚系統(tǒng) GS-300實現(xiàn)嵌入晶圓中的布線圖案的圖案對齊 GS-300滿足半導體工藝的高通量需求 GS-300支持凹口對齊功能
詳情介紹：
塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司江蘇代理OTSUKA大塚電子晶圓測厚系統(tǒng) GS-300實現(xiàn)嵌入晶圓中的布線圖案的圖案對齊 GS-300滿足半導體工藝的高通量需求 GS-300支持凹口對齊功能

OTSUKA大塚電子GS-300產(chǎn)品信息

 GS-300特征
  • 支持集成到Φ300mm EFEM單元備用端口中
  • 實現(xiàn)嵌入晶圓中的布線圖案的圖案對齊
  • 滿足半導體工藝的高通量需求
  • 支持凹口對齊功能
  • 占地面積小規(guī)格

 

 GS-300測量示例
  • TSV嵌入式圖案晶圓磨削后的硅厚度
  • Φ300mm晶圓厚度
    規(guī)范
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