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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設備AMAX1200

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠商：AMAYA天谷制作所
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
●12英寸~56張/時的吞吐量 ●采用SiC托盤的重金屬污染對策
詳情介紹：
特點

它是傳統(tǒng) AMAX 系列的*大直徑 12 英寸晶圓處理設備。

A63 型分散頭
中的 SiH 經(jīng)過優(yōu)化，可在低溫常壓下更有效地進行熱化學反應4, PH3, B2H6和 O2分散后混合和表面反應的后混合方法，
提供優(yōu)異的薄膜厚度均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。

SiC 托盤的采用使重金屬污染不難發(fā)生。 此外，由于熱量，工藝性能
穩(wěn)定，老化較少。

標準配備托盤自動更換功能，可縮短操作員的**性和維護時間。
此外，通過采用自動提升頭底座的機制，可以輕松進行
清潔。

性能
薄膜厚度均勻性 ≦±3.0%
支持的晶圓尺寸 12 英寸
氣體種類 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
沉積溫度 350～430℃
生產(chǎn)力 ~56張/小時
主要規(guī)格

設備尺寸 2165mm(W) x 4788mm(D) x 2250mm(H)
加熱機構 電阻加熱
卸載 機器人CtoC輸送
分散頭
（氣體噴嘴） 		A63 頭（標準 3 頭）
沈陽代理AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設備AMAX1200

天津代理AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設備AMAX1200

昆山代理AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設備AMAX1200

上海代理AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設備AMAX1200

蘇州代理AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設備AMAX1200

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