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產(chǎn)品中心

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> Osakavacuum大阪真空>

產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：代理Osakavacuum大阪真空超高真空型TG-MU系列
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品廠商：OSAKAVACUUM大阪真空
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
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簡單介紹：

■ 適用于所有特高壓應用 TG-MU系列旨在通過減少材料的放氣和提高氫氣壓縮效率，有效地將輕質(zhì)氣體從高真空區(qū)域抽真空到超高真空區(qū)域。極限真空可以在短時間內(nèi)實現(xiàn)10-9 Pa順序（在10-11 Torr）區(qū)域。

詳情介紹：

應用

- 分析儀器，表面分析和特高壓研發(fā)。

- 特高壓半導體薄膜工藝和MEMS研發(fā)

- 能源研究、加速器、核聚變等

規(guī)格

		TG900MU	TG1300MU
Inlet flange		CF160	CF200
Volume flow rate	N2 (L/s)	900	1300
	N2 (with protective screen) (L/s)	860	1230
	H2 (L/s)	1050	1200
Max. compression ratio	N2	1×108
	H2	6.0×104
Base pressure	(Pa/Torr)	< 1×10-8/< 7.5×10-11
Max. throughput※1	N2(sccm)	3000
Startup time (min)		4-5
Shutdown time (min)		4-5
Max. backing pressure	(Pa/Torr)	500/3.8
Recommended backing vacuum pump (L/min)		≧250
Weight (kg)		42
Controller		TC010MA

*1 ： 1000L/min的**真空泵。
*2 ：尺寸與標準尺寸相同。

聯(lián)系人：李先生 13402684488（微信同號）
羅茨真空泵、油封旋轉(zhuǎn)真空泵、液環(huán)真空泵、油擴散泵、噴射器、干式真空泵、真空系統(tǒng)、真空設備

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