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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：SAMCO 等離子CVD設(shè)備 PD-220NL

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠商：SAMCO薩姆肯
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
雖然設(shè)計緊湊，可 沉積到 ±8 英寸晶圓上，但樣品為 ±3 英寸晶圓，可同時沉積 5 個晶圓，4 英寸晶圓可同時形成 3 個薄膜，1 個 ±8 英寸晶圓可以沉積。
詳情介紹：

概述

PD-220NL 是一種負載鎖定設(shè)備，基于 PD-220 系列等離子 CVD 設(shè)備的經(jīng)驗而開發(fā)，該設(shè)備具有豐富的交付記錄。 該裝置設(shè)計緊湊，但基板有效直徑為±220mm，通過托盤輸送，可同時形成多個小直徑晶圓。 我們旨在形成各種硅薄膜（SiO+、SiN 等），可處理從尖 端研究到大規(guī)模生產(chǎn)的各種應(yīng)用。

特點

雖然設(shè)計緊湊，可
沉積到 ±8 英寸晶圓上，但樣品為 ±3 英寸晶圓，可同時沉積 5 個晶圓，4 英寸晶圓可同時形成 3 個薄膜，1 個 ±8 英寸晶圓可以沉積。

配備負載
鎖定室，可實現(xiàn)穩(wěn)定的過程。

應(yīng)用示例

可以形成
氮化硅膜、氧化硅膜和非晶硅膜，形成各種硅基薄膜。

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